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高温炉用钨钼
   
蓝宝石炉用钼隔热屏
发布时间:2022-11-14 发布人员:admin浏览人数:23人
产品型号:
产品规格:
产品尺寸:可根据客户设计,加工各种规格、尺寸的产品。
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详情内容

在蓝宝石晶体生长炉(如泡生法炉)中,隔热屏材料的选择需综合考虑熔点、高温稳定性、成本及工艺需求。以下是钼(Mo)和钨(W)隔热屏的对比及建议:

(1)钼(Mo)隔热屏

‌【优点‌】:‌

适用温度‌:熔点约2610°C,适合蓝宝石炉的典型工作温度(约2000-2100°C)。

加工性能‌:延展性较好,易于加工成复杂形状(如多层隔热屏结构)。

成本‌:价格低于钨,适合大规模生产或预算有限的情况。

抗氧化性:在真空或惰性气体(如氩气)环境中稳定性较好,但需避免暴露于含氧环境。‌

【缺点】‌:

长期在高温下可能发生轻微蠕变(形变),需定期检查维护。

抗氧化能力有限,若炉体密封不良可能影响寿命。

 

(2)钨(W)隔热屏

【优点‌】:

超高温性能‌:熔点高达3422°C,适合极端高温(如2200°C以上)或需要长期稳定性的场景。

抗蠕变能力‌:高温下形变更小,使用寿命更长。

低蒸气压:在真空环境中挥发损失更少。

【缺点】:

成本高昂‌:材料及加工费用显著高于钼。

加工难度:脆性大,难以制成复杂结构,通常需采用粉末冶金或特殊工艺。

抗氧化性差‌:高温下遇氧迅速氧化,需严格保证炉内环境。

 

(3)实际应用建议

首选钼隔热屏:

蓝宝石炉的工作温度通常不超过2100°C,钼已完全满足需求,且性价比更高。目前主流厂商(如Crystal Systems、GTAT等)的泡生法炉多采用钼隔热屏,配合真空/惰性气体保护以延长寿命。

选择钨的场景:

炉内温度长期接近或超过2200°C(如某些特殊晶体生长工艺)。

对设备寿命及稳定性要求极高,且预算充足。

可能采用钨钼复合结构(如内层用钨,外层用钼)以平衡性能与成本。

 

(4)延长隔热屏寿命的措施

环境控制‌:确保炉内高真空或惰性气体纯度(如氩气氧含量<1ppm)。

表面涂层‌:对钼隔热屏进行碳化处理(如MoSi₂涂层),可提升抗氧化性。

定期维护‌:检查隔热屏是否变形、氧化或污染,及时更换损坏部件。

 

(5)总结

对于大多数蓝宝石炉,‌钼隔热屏是更优选择,兼顾性能与成本;仅在极端高温或特殊需求时考虑钨。建议根据实际工艺参数、预算及维护能力综合决策。

 

(6)产品规格:

可根据客户设计要求,加工各种规格、尺寸的钨隔热屏及热场装配部件。

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