离子注入机主要由离子源、分析磁体、加速聚焦器、扫描偏转系统、靶室及终端台和真空系统六大部分组成。以下是各部件的详细作用：

（1）‌离子源‌：用于将需要注入的杂质原子电离成为离子，形成具有一定动能的正离子束。

‌（2）分析磁体‌：根据不同离子运动半径不同的原理，将不同的离子分离开来，确保只有所需荷质比的离子进入加速器。

‌（3）加速聚焦器‌：对离子进行加速，使其达到所需的最终能量，并进行聚焦以提高注入的精确性。

（4）‌扫描偏转系统‌：控制离子束在靶材料表面的扫描模式，确保离子能够均匀地注入到整个靶片上。

‌（5）靶室及终端台‌：让离子束流能注入进去，并监测注入的离子数量。

（6）‌真空系统‌：一般用真空泵和闭合的抽气系统来实现，确保离子注入过程中的真空环境‌。

离子源作为离子注入机的核心部分，负责将所需注入的杂质原子电离成离子，并形成具有一定动能的正离子束。

钨钼部件作为离子源的关键组成部分，利用钨钼材料的高热导率、低热膨胀系数、高强度等优良性能，确保离子源在产生等离子体过程中的稳定性和效率。钨钼部件的设计需考虑其在高真空环境下的应用，以避免气体分子对离子运动的干扰，同时保证离子束的精确控制和加速，以实现离子在半导体材料中的精确注入。‌

关于离子注入机用钨钼部件的详细解答如下：

（1）离子源部件：钨钼合金具有良好的导热性、耐热性和耐腐蚀性，可用于制造离子源部件，通过电离所需元素的原子产生一束离子。

（2）离子源部件‌：钨钼合金具有良好的导热性、耐热性和耐腐蚀性，可用于制造离子源部件，通过电离所需元素的原子产生一束离子。

（3）‌加速系统部件‌：钨钼合金可用于电极或电网等组件中，这些组件可提供电场以加速离子，将离子源中产生的离子束加速到所需的能量。

‌（4）束流线组件‌：钨钼合金具有高强度和耐化学性，可用于制造光束线组件，加速离子束通过由真空室、磁性元件和束流诊断装置组成的束流线传输。

‌（5）退火过程中的散热‌：钨钼离子植入部件具有高导热性，可在退火过程中帮助有效散热‌。