电阻加热式蒸发源是一种应用广泛的蒸发源，主要用于加热膜材料进行气化和蒸发。其特点包括结构简单、使用方便、易于制作，能够蒸发温度小于1500℃的金属和一些化合物。
电阻加热式蒸发源的工作原理是利用大电流通过高熔点金属或合金制成的蒸发源产生热量，从而直接加热和蒸发膜材料。选材方面，要求蒸发源材料具有高熔点、低饱和蒸汽压、良好的导电性和化学稳定性。
常用的电阻加热材料包括W、Mo、Ta等高熔点金属，以及Ni、Ni-Cr合金等。这些材料被加工成各种形状以承载待蒸发的膜材料，并通过电阻加热实现蒸发过程。
钼电阻加热式蒸发源
钼电阻加热式蒸发源是一种利用钼等高熔点金属作为发热体，通过电阻加热方式使膜材料气化蒸发的装置。它采用片状或丝状的钼金属制成一定形状的蒸发源，利用大电流通过蒸发源产生的焦耳热，对蒸发材料进行直接加热蒸发，或将膜料放入氧化铝、氧化铍等坩埚中进行间接加热蒸发。钼电阻加热式蒸发源具有结构简单、成本低、操作简便等优点，广泛应用于真空蒸发镀膜领域，尤其适用于蒸发温度适中的材料的镀膜工艺。
钼电阻加热式蒸发源原理
钼电阻加热式蒸发源的原理是利用钼等高熔点金属作为发热体，通过电阻加热方式使膜材料气化蒸发。具体而言，将钼加工成适当形状的蒸发源，如片状或丝状，并在其上装入待蒸发的膜材料。当大电流通过蒸发源时，钼发热体产生焦耳热，直接加热蒸发源上的膜材料，使其达到蒸发温度并气化蒸发。此外，也可将膜材料放入氧化铝等坩埚中进行间接加热蒸发。这种方法具有结构简单、成本低、操作简便等优点，广泛应用于真空蒸发镀膜领域。
